BS ISO 18516-2006 表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.横向分辨率测定

作者:标准资料网时间:2024-05-03 12:16:59 浏览:8528 来源:标准资料网

【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-AugerelectronspectroscopyandX-rayphotoelectronspectroscopy-Determinationoflateralresolution
【原文标准名称】:表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.横向分辨率测定
【标准号】:BSISO18516-2006
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2006-11-30
【实施或试行日期】:2006-11-30
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:俄歇电子光谱法;化学分析和试验;数据分析;定义;精整;测量;光电子的;定量分析;光谱测定法;光谱学;直尺;表面化学;表面;X射线光度法
【英文主题词】:Augerelectronspectroscopy;Chemicalanalysisandtesting;Dataanalysis;Definition;Definitions;Finishes;Measurement;Photoelectronics;Quantitativeanalysis;Spectrometry;Spectroscopy;Straightedges;Surfacechemistry;Surfaces;X-rayspectrometry
【摘要】:ISO18516:2006describesthreemethodsformeasuringthelateralresolutionachievableinAugerelectronspectrometersandX-rayphotoelectronspectrometersunderdefinedsettings.Thestraight-edgemethodissuitableforinstrumentswherethelateralresolutionisexpectedtobelargerthan1micrometre.Thegridmethodissuitableifthelateralresolutionisexpectedtobelessthan1micrometrebutmorethan20nm.Thegold-islandmethodissuitableforinstrumentswherethelateralresolutionisexpectedtobesmallerthan50nm.AnnexesA,BandCprovideillustrativeexamplesofthemeasurementoflateralresolution.
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_50
【页数】:34P.;A4
【正文语种】:英语

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